ការសាយភាយមានន័យថា នៅក្រោមការបំភាយនៃពន្លឺអ៊ុលត្រាវីយូឡេ អ្នកផ្តួចផ្តើមថតរូបស្រូបយកថាមពលពន្លឺ និងបំបែកទៅជារ៉ាឌីកាល់សេរី ហើយរ៉ាឌីកាល់សេរីបន្ទាប់មកចាប់ផ្តើម photopolymerization monomer ដើម្បីអនុវត្តប្រតិកម្ម polymerization និង crosslinking ។ការប៉ះពាល់ជាទូទៅត្រូវបានអនុវត្តនៅក្នុងម៉ាស៊ីនស្វ័យប្រវត្តទ្វេរដងឥឡូវនេះម៉ាស៊ីនបញ្ចេញពន្លឺអាចត្រូវបានបែងចែកទៅជាខ្យល់ត្រជាក់ និងត្រជាក់ដោយទឹក យោងតាមវិធីសាស្ត្រត្រជាក់នៃប្រភពពន្លឺ។
កត្តាដែលប៉ះពាល់ដល់គុណភាពរូបភាពនៃការប៉ះពាល់
បន្ថែមពីលើការអនុវត្តនៃ photoresist ខ្សែភាពយន្ត កត្តាដែលប៉ះពាល់ដល់គុណភាពនៃការថតរូបភាពដែលមានការប៉ះពាល់គឺការជ្រើសរើសប្រភពពន្លឺ ការគ្រប់គ្រងពេលវេលានៃការប៉ះពាល់ (ចំនួននៃការប៉ះពាល់) និងគុណភាពនៃផ្ទាំងរូបថត។
1) ជម្រើសនៃប្រភពពន្លឺ
ប្រភេទនៃខ្សែភាពយន្តណាមួយមានខ្សែកោងស្រូបយកវិសាលគមផ្ទាល់ខ្លួនរបស់វា ហើយប្រភេទណាមួយនៃប្រភពពន្លឺក៏មានខ្សែកោងវិសាលគមបំភាយរបស់វាផងដែរ។ប្រសិនបើកំពូលនៃការស្រូបយកវិសាលគមសំខាន់នៃប្រភេទជាក់លាក់នៃខ្សែភាពយន្តអាចត្រួតលើគ្នា ឬភាគច្រើនត្រួតលើគ្នាជាមួយនឹងកំពូលនៃការបំភាយវិសាលគមនៃប្រភពពន្លឺជាក់លាក់មួយ នោះទាំងពីរត្រូវបានផ្គូផ្គងយ៉ាងល្អ ហើយឥទ្ធិពលនៃការប៉ះពាល់គឺល្អបំផុត។
ខ្សែកោងស្រូបយកវិសាលគមនៃខ្សែភាពយន្តស្ងួតក្នុងស្រុកបង្ហាញថាតំបន់ស្រូបយកវិសាលគមគឺ 310-440 nm (ណាណូម៉ែត្រ) ។ពីការចែកចាយថាមពលវិសាលគមនៃប្រភពពន្លឺជាច្រើន វាអាចត្រូវបានគេមើលឃើញថា ចង្កៀងជ្រើសរើស ចង្កៀងបារតសម្ពាធខ្ពស់ និងចង្កៀងអ៊ីយ៉ូតហ្គាលលីម មានអាំងតង់ស៊ីតេវិទ្យុសកម្មដែលទាក់ទងធំនៅក្នុងជួររលកនៃ 310-440nm ដែលជាប្រភពពន្លឺដ៏ល្អសម្រាប់ ការបង្ហាញខ្សែភាពយន្ត។ចង្កៀង xenon មិនសមរម្យសម្រាប់ការប៉ះពាល់នៃខ្សែភាពយន្តស្ងួត។
បន្ទាប់ពីប្រភេទប្រភពពន្លឺត្រូវបានជ្រើសរើស ប្រភពពន្លឺដែលមានថាមពលខ្ពស់ក៏គួរត្រូវបានពិចារណាផងដែរ។ដោយសារតែអាំងតង់ស៊ីតេពន្លឺខ្ពស់ គុណភាពបង្ហាញខ្ពស់ និងរយៈពេលនៃការប៉ះពាល់ខ្លី កម្រិតនៃការខូចទ្រង់ទ្រាយកម្ដៅនៃបន្ទះរូបថតក៏តូចផងដែរ។លើសពីនេះទៀតការរចនានៃចង្កៀងក៏មានសារៈសំខាន់ផងដែរ។វាចាំបាច់ក្នុងការព្យាយាមធ្វើឱ្យឧបទ្ទវហេតុមានពន្លឺឯកសណ្ឋាន និងស្របគ្នា ដើម្បីជៀសវាង ឬកាត់បន្ថយផលប៉ះពាល់មិនល្អបន្ទាប់ពីការប៉ះពាល់។
2) ការគ្រប់គ្រងពេលវេលានៃការប៉ះពាល់ (ចំនួននៃការប៉ះពាល់)
ក្នុងអំឡុងពេលដំណើរការការប៉ះពាល់ សារធាតុ photopolymerization នៃខ្សែភាពយន្តមិនមែនជា "ការបាញ់មួយ" ឬ "ការប៉ះពាល់តែមួយ" នោះទេ ប៉ុន្តែជាទូទៅឆ្លងកាត់បីដំណាក់កាល។
ដោយសារតែការស្ទះនៃអុកស៊ីហ៊្សែនឬភាពមិនបរិសុទ្ធដែលបង្កគ្រោះថ្នាក់ផ្សេងទៀតនៅក្នុងភ្នាស ដំណើរការអាំងឌុចទ័រត្រូវបានទាមទារ ដែលក្នុងនោះរ៉ាឌីកាល់សេរីដែលបង្កើតឡើងដោយការរលួយរបស់អ្នកចាប់ផ្តើមត្រូវបានប្រើប្រាស់ដោយអុកស៊ីសែន និងភាពមិនបរិសុទ្ធ ហើយវត្ថុធាតុ polymerization នៃម៉ូណូមឺគឺតិចតួចបំផុត។ទោះបីជាយ៉ាងណាក៏ដោយ នៅពេលដែលរយៈពេលនៃការចាប់ផ្តើមត្រូវបានបញ្ចប់ ដំណើរការ photopolymerization នៃ monomer ដំណើរការយ៉ាងឆាប់រហ័ស ហើយ viscosity នៃខ្សែភាពយន្តកើនឡើងយ៉ាងឆាប់រហ័ស ជិតដល់កម្រិតនៃការផ្លាស់ប្តូរភ្លាមៗ។នេះគឺជាដំណាក់កាលនៃការប្រើប្រាស់យ៉ាងលឿននៃម៉ូណូម័រដែលងាយនឹងបញ្ចេញពន្លឺ ហើយដំណាក់កាលនេះរាប់បញ្ចូលភាគច្រើននៃការប៉ះពាល់ក្នុងអំឡុងពេលដំណើរការបញ្ចេញពន្លឺ។មាត្រដ្ឋានពេលវេលាគឺតូចណាស់។នៅពេលដែលភាគច្រើននៃម៉ូណូម័រដែលងាយនឹងបញ្ចេញពន្លឺត្រូវបានប្រើប្រាស់ វាចូលទៅក្នុងតំបន់ depletion monomer ហើយប្រតិកម្ម photopolymerization ត្រូវបានបញ្ចប់នៅពេលនេះ។
ការគ្រប់គ្រងត្រឹមត្រូវនៃពេលវេលាប៉ះពាល់គឺជាកត្តាសំខាន់ក្នុងការទទួលបានរូបភាពដែលធន់នឹងខ្សែភាពយន្តស្ងួតល្អ។នៅពេលដែលការប៉ះពាល់មិនគ្រប់គ្រាន់ ដោយសារតែវត្ថុធាតុ polymerization មិនពេញលេញនៃ monomers កំឡុងពេលដំណើរការអភិវឌ្ឍន៍ ខ្សែភាពយន្ត adhesive ហើម និងក្លាយជាទន់ បន្ទាត់មិនច្បាស់ ពណ៌រិល និងសូម្បីតែ degummed ហើយខ្សែភាពយន្ត warps កំឡុងពេលមុន - ដំណើរការផ្លាស្ទិច ឬ electroplating ។ស្រក់ ឬសូម្បីតែធ្លាក់ចេញ។នៅពេលដែលការប៉ះពាល់ខ្លាំងពេក វានឹងបង្កបញ្ហាដូចជាការលំបាកក្នុងការអភិវឌ្ឍន៍ ខ្សែភាពយន្តផុយ និងកាវដែលនៅសេសសល់។អ្វីដែលធ្ងន់ធ្ងរជាងនេះទៀតនោះគឺការបង្ហាញមិនត្រឹមត្រូវនឹងធ្វើឱ្យមានគម្លាតនៃទទឹងបន្ទាត់រូបភាព។ការប៉ះពាល់ខ្លាំងពេកនឹងធ្វើឱ្យបន្ទាត់នៃការដាក់លំនាំស្តើង ហើយធ្វើឱ្យបន្ទាត់នៃការបោះពុម្ព និងការឆ្លាក់កាន់តែក្រាស់។ផ្ទុយទៅវិញ ការប៉ះពាល់មិនគ្រប់គ្រាន់នឹងធ្វើឱ្យបន្ទាត់នៃបន្ទះលំនាំកាន់តែស្តើង។រឹងដើម្បីធ្វើឱ្យបន្ទាត់ឆ្លាក់ដែលបោះពុម្ពកាន់តែស្តើង។