Ifihan tumọ si pe labẹ itanna ti ina ultraviolet, photoinitiator gba agbara ina ati decomposes sinu awọn ipilẹṣẹ ọfẹ, ati awọn ipilẹṣẹ ọfẹ lẹhinna bẹrẹ monomer photopolymerization lati ṣe iṣesi polymerization ati irekọja.Ifihan ni gbogbogbo ni a ṣe ni ẹrọ ifihan apa meji laifọwọyi.Bayi ẹrọ ifihan le ti pin si titu-afẹfẹ ati omi ti a fi omi ṣan ni ibamu si ọna itutu ti orisun ina.
Awọn nkan ti o ni ipa Didara Aworan Ifihan
Ni afikun si iṣẹ-ṣiṣe ti fotoresist fiimu, awọn okunfa ti o ni ipa lori didara aworan ifihan ni yiyan awọn orisun ina, iṣakoso akoko ifihan (iye ifihan), ati didara awọn awo aworan.
1) Yiyan orisun ina
Eyikeyi iru fiimu ni o ni iwọn ti o gba iyasọtọ ti ara rẹ, ati eyikeyi iru orisun ina tun ni ohun ti njade itujade tirẹ.Ti o ba jẹ pe tente gbigba iwoye akọkọ ti iru fiimu kan le ni lqkan tabi pupọ julọ pẹlu oke nla itujade irisi ti orisun ina kan, awọn mejeeji ni ibamu daradara ati pe ipa ifihan jẹ dara julọ.
Iyika gbigba iwoye ti fiimu gbigbẹ inu ile fihan pe agbegbe gbigba iwoye jẹ 310-440 nm (nanometer).Lati pinpin agbara iwoye ti ọpọlọpọ awọn orisun ina, o le rii pe atupa ti o yan, atupa mercury titẹ giga, ati atupa gallium iodine ni agbara itankalẹ ibatan ti o tobi pupọ ni iwọn gigun ti 310-440nm, eyiti o jẹ orisun ina to dara julọ fun ifihan fiimu.Awọn atupa Xenon ko dara funìsírasílẹ̀ti gbẹ fiimu.
Lẹhin ti a ti yan iru orisun ina, orisun ina pẹlu agbara giga yẹ ki o tun ṣe akiyesi.Nitori kikankikan ina giga, ipinnu giga, ati akoko ifihan kukuru, iwọn ti abuku igbona ti awo aworan tun jẹ kekere.Ni afikun, apẹrẹ awọn atupa tun jẹ pataki pupọ.O jẹ dandan lati gbiyanju lati jẹ ki iṣẹlẹ naa jẹ aṣọ ina ati ni afiwe, lati yago fun tabi dinku ipa ti ko dara lẹhin ifihan.
2) Iṣakoso akoko ifihan (iye ifihan)
Lakoko ilana ifihan, photopolymerization ti fiimu kii ṣe “ibọn-ọkan” tabi “ifihan ọkan”, ṣugbọn ni gbogbogbo lọ nipasẹ awọn ipele mẹta.
Nitori idinamọ ti atẹgun tabi awọn idoti miiran ti o ni ipalara ninu awọ-ara, ilana imudani ni a nilo, ninu eyiti awọn radicals free ti ipilẹṣẹ nipasẹ jijẹ ti olupilẹṣẹ jẹ run nipasẹ atẹgun ati awọn aimọ, ati pe polymerization ti monomer jẹ iwonba.Bibẹẹkọ, nigbati akoko ifilọlẹ ba ti pari, photopolymerization ti monomer n tẹsiwaju ni iyara, ati iki ti fiimu naa pọ si ni iyara, ti o sunmọ ipele ti iyipada lojiji.Eyi ni ipele ti lilo iyara ti monomer photosensitive, ati pe ipele yii jẹ akọọlẹ pupọ julọ ti ifihan lakoko ilana ifihan.Iwọn akoko jẹ kekere pupọ.Nigbati pupọ julọ monomer photosensitive ba jẹ, o wọ inu agbegbe idinku monomer, ati pe iṣesi photopolymerization ti pari ni akoko yii.
Iṣakoso ti o tọ ti akoko ifihan jẹ ifosiwewe pataki ni gbigba fiimu gbigbẹ ti o dara koju awọn aworan.Nigbati ifihan ko ba to, nitori pipopolimaization ti ko pe ti awọn monomers, lakoko ilana idagbasoke, fiimu alamọra swells ati ki o di rirọ, awọn ila naa ko han gbangba, awọ jẹ ṣigọgọ, ati paapaa ti bajẹ, ati pe fiimu naa fa nigba iṣaaju. -plating tabi electroplating ilana., oju oju, tabi paapaa ṣubu ni pipa.Nigbati ifihan ba ga ju, yoo fa awọn iṣoro bii iṣoro ni idagbasoke, fiimu brittle, ati lẹ pọ.Ohun ti o ṣe pataki julọ ni pe ifihan ti ko tọ yoo fa iyapa ti iwọn ila aworan.Ifihan ti o pọju yoo tinrin awọn laini ti apẹrẹ apẹrẹ ati ki o jẹ ki awọn ila ti titẹ ati etching nipon.Ni ilodi si, ifihan ti ko to yoo jẹ ki awọn ila ti fifin apẹrẹ di tinrin.Isokuso lati jẹ ki awọn laini etched ti a tẹjade tinrin.