노출은 자외선 조사 하에서 광개시제가 빛 에너지를 흡수하여 자유 라디칼로 분해되고, 자유 라디칼이 광중합 단량체를 개시하여 중합 및 가교 반응을 수행하는 것을 의미합니다.노광은 일반적으로 자동 양면 노광기에서 수행됩니다.이제 노광기는 광원의 냉각 방식에 따라 공냉식과 수냉식으로 나눌 수 있습니다.

노출 이미지 품질에 영향을 미치는 요소

필름 포토레지스트의 성능 외에도 노광 이미징의 품질에 영향을 미치는 요소로는 광원의 선택, 노광 시간(노출량)의 제어, 사진판의 품질 등이 있습니다.

1) 광원의 선택

모든 종류의 필름에는 고유한 스펙트럼 흡수 곡선이 있으며, 광원에도 고유한 방출 스펙트럼 곡선이 있습니다.특정 유형의 필름의 주요 스펙트럼 흡수 피크가 특정 광원의 스펙트럼 방출 주요 피크와 겹치거나 대부분 겹칠 수 있는 경우 두 가지가 잘 일치하고 노출 효과가 가장 좋습니다.

국내 건조필름의 분광흡수곡선을 보면 분광흡수영역이 310~440nm(나노미터)인 것으로 나타났다.여러 광원의 스펙트럼 에너지 분포에서 피크 램프, 고압 수은 램프 및 요오드 갈륨 램프가 310-440nm의 파장 범위에서 상대적으로 큰 상대 방사 강도를 갖는 것을 알 수 있으며, 이는 이상적인 광원입니다. 필름 노출.크세논 램프는 다음 용도에 적합하지 않습니다.노출건조 필름의.

광원 유형을 선택한 후에는 고출력 광원도 고려해야 합니다.높은 광도, 높은 해상도 및 짧은 노출 시간으로 인해 사진 판의 열 변형 정도도 작습니다.또한, 램프의 디자인도 매우 중요합니다.노출 후 불량한 효과를 피하거나 줄이기 위해 입사광을 균일하고 평행하게 만드는 것이 필요합니다.

2) 노출시간(노출량) 조절

노광 과정에서 필름의 광중합은 '원샷'이나 '원노출'이 아닌 일반적으로 3단계를 거친다.

막 내 산소나 기타 유해한 불순물이 막혀 있기 때문에 개시제의 분해로 생성된 자유라디칼이 산소와 불순물에 의해 소모되어 단량체의 중합이 최소화되는 유도과정이 필요하다.그러나 유도기간이 끝나면 단량체의 광중합이 빠르게 진행되어 필름의 점도가 급격하게 증가하여 급변하는 수준에 가까워진다.이는 감광성 모노머가 급속히 소모되는 단계로, 노광 공정 중 노광의 대부분을 차지하는 단계이다.시간 규모는 매우 작습니다.대부분의 감광성 모노머가 소비되면 모노머 고갈 영역으로 들어가고 이때 광중합 반응이 완료됩니다.

노출 시간을 올바르게 제어하는 ​​것은 좋은 건식 필름 레지스트 이미지를 얻는 데 매우 중요한 요소입니다.노광이 부족할 경우 모노머의 불완전한 중합으로 인해 현상 과정에서 점착 필름이 부풀어 오르고 부드러워지고 선이 선명하지 않고 색상이 흐릿하며 심지어 검이 벗겨지기도 하며 사전 작업 시 필름이 휘어지는 현상이 발생합니다. - 도금 또는 전기 도금 공정., 누출 또는 심지어 떨어짐.노출이 너무 높으면 현상 어려움, 필름 부서짐, 접착제 잔류 등의 문제가 발생할 수 있습니다.더 심각한 것은 잘못된 노출로 인해 이미지 선폭의 편차가 발생한다는 것입니다.과도한 노출은 패턴 도금 라인을 가늘게 하고 인쇄 및 에칭 라인을 두껍게 만듭니다.반대로, 노출이 부족하면 패턴 도금 라인이 얇아지게 됩니다.인쇄된 에칭 선을 더 얇게 만들려면 거칠게 합니다.