ການເປີດເຜີຍຫມາຍຄວາມວ່າພາຍໃຕ້ການ irradiation ຂອງແສງ ultraviolet, photoinitiator ດູດເອົາພະລັງງານແສງສະຫວ່າງແລະ decomposes ເຂົ້າໄປໃນອະນຸມູນອິດສະລະ, ແລະອະນຸມູນອິດສະລະຈາກນັ້ນລິເລີ່ມ monomer photopolymerization ເພື່ອປະຕິບັດປະຕິກິລິຍາ polymerization ແລະ crosslinking.ການເປີດເຜີຍໂດຍທົ່ວໄປແມ່ນດໍາເນີນຢູ່ໃນເຄື່ອງສໍາຜັດສອງດ້ານອັດຕະໂນມັດ.ໃນປັດຈຸບັນເຄື່ອງສໍາຜັດສາມາດແບ່ງອອກເປັນເຄື່ອງເຮັດຄວາມເຢັນດ້ວຍອາກາດແລະນ້ໍາເຢັນຕາມວິທີການເຮັດຄວາມເຢັນຂອງແຫຼ່ງແສງສະຫວ່າງ.
ປັດໃຈທີ່ສົ່ງຜົນກະທົບຕໍ່ຄຸນນະພາບຮູບພາບການເປີດເຜີຍ
ນອກເຫນືອໄປຈາກການປະຕິບັດຂອງ photoresist ຟິມ, ປັດໃຈທີ່ສົ່ງຜົນກະທົບຕໍ່ຄຸນນະພາບຂອງການຖ່າຍຮູບ exposure ແມ່ນການຄັດເລືອກແຫຼ່ງແສງສະຫວ່າງ, ການຄວບຄຸມເວລາ exposure (ປະລິມານ exposure), ແລະຄຸນນະພາບຂອງແຜ່ນຖ່າຍຮູບ.
1) ທາງເລືອກຂອງແຫຼ່ງແສງສະຫວ່າງ
ຮູບເງົາປະເພດໃດກໍ່ມີເສັ້ນໂຄ້ງການດູດຊຶມ spectral ເປັນຂອງຕົນເອງ, ແລະປະເພດຂອງແຫຼ່ງແສງສະຫວ່າງໃດໆກໍ່ມີເສັ້ນໂຄ້ງ spectral ການປ່ອຍອາຍພິດຂອງຕົນເອງ.ຖ້າຈຸດສູງສຸດຂອງການດູດຊຶມ spectral ຫຼັກຂອງຮູບເງົາບາງປະເພດສາມາດທັບຊ້ອນກັນ ຫຼື ສ່ວນຫຼາຍແມ່ນທັບຊ້ອນກັນກັບຈຸດສູງສຸດຂອງການປ່ອຍແສງ spectral ຂອງແຫຼ່ງແສງສະຫວ່າງທີ່ແນ່ນອນ, ທັງສອງແມ່ນເຂົ້າກັນໄດ້ດີ ແລະ ຜົນກະທົບການຮັບແສງແມ່ນດີທີ່ສຸດ.
ເສັ້ນໂຄ້ງການດູດຊຶມ spectral ຂອງຮູບເງົາແຫ້ງພາຍໃນປະເທດສະແດງໃຫ້ເຫັນວ່າພາກພື້ນການດູດຊຶມ spectral ແມ່ນ 310-440 nm (nanometer).ຈາກການແຜ່ກະຈາຍພະລັງງານຂອງແຫຼ່ງແສງສະຫວ່າງຫຼາຍ, ມັນສາມາດເຫັນໄດ້ວ່າໂຄມໄຟເລືອກ, ໂຄມໄຟ Mercury ຄວາມກົດດັນສູງ, ແລະໂຄມໄຟ iodine gallium ມີຄວາມເຂັ້ມຂົ້ນຂອງຮັງສີທີ່ຂ້ອນຂ້າງໃຫຍ່ໃນຂອບເຂດຄວາມຍາວຂອງຄື້ນຂອງ 310-440nm, ເຊິ່ງເປັນແຫຼ່ງແສງສະຫວ່າງທີ່ເຫມາະສົມສໍາລັບ. ການເປີດເຜີຍຮູບເງົາ.ໂຄມໄຟ Xenon ບໍ່ເຫມາະສົມສໍາລັບການສຳຜັດເຊື້ອຂອງຮູບເງົາແຫ້ງ.
ຫຼັງຈາກເລືອກປະເພດແຫຼ່ງແສງສະຫວ່າງ, ແຫຼ່ງແສງສະຫວ່າງທີ່ມີພະລັງງານສູງຄວນພິຈາລະນາ.ເນື່ອງຈາກຄວາມເຂັ້ມຂອງແສງສູງ, ຄວາມລະອຽດສູງ, ແລະເວລາການເປີດຮັບແສງສັ້ນ, ລະດັບຂອງການປ່ຽນຮູບຄວາມຮ້ອນຂອງແຜ່ນຖ່າຍຮູບກໍ່ມີໜ້ອຍ.ນອກຈາກນັ້ນ, ການອອກແບບໂຄມໄຟຍັງມີຄວາມສໍາຄັນຫຼາຍ.ມັນເປັນສິ່ງຈໍາເປັນທີ່ຈະພະຍາຍາມເຮັດໃຫ້ເຫດການແສງສະຫວ່າງເປັນເອກະພາບແລະຂະຫນານ, ເພື່ອຫຼີກເວັ້ນການຫຼືຫຼຸດຜ່ອນຜົນກະທົບທີ່ບໍ່ດີຫຼັງຈາກການສໍາຜັດ.
2) ການຄວບຄຸມຂອງເວລາ exposure (ຈໍານວນການເປີດຮັບ)
ໃນລະຫວ່າງຂະບວນການສໍາຜັດ, photopolymerization ຂອງຮູບເງົາບໍ່ແມ່ນ "ຫນຶ່ງ-shot" ຫຼື "ຫນຶ່ງ-exposure", ແຕ່ໂດຍທົ່ວໄປແລ້ວຈະຜ່ານສາມຂັ້ນຕອນ.
ເນື່ອງຈາກການອຸດຕັນຂອງອົກຊີເຈນຫຼື impurities ເປັນອັນຕະລາຍອື່ນໆໃນເຍື່ອ, ຂະບວນການ induction ແມ່ນຈໍາເປັນ, ໃນທີ່ອະນຸມູນອິດສະລະທີ່ເກີດຈາກການ decomposition ຂອງຜູ້ລິເລີ່ມໄດ້ຖືກບໍລິໂພກໂດຍອົກຊີເຈນແລະ impurities, ແລະ polymerization ຂອງ monomer ແມ່ນຫນ້ອຍ.ຢ່າງໃດກໍຕາມ, ເມື່ອໄລຍະເວລາ induction ສິ້ນສຸດລົງ, photopolymerization ຂອງ monomer ດໍາເນີນໄປຢ່າງໄວວາ, ແລະຄວາມຫນືດຂອງຮູບເງົາເພີ່ມຂຶ້ນຢ່າງໄວວາ, ໃກ້ກັບລະດັບຂອງການປ່ຽນແປງຢ່າງກະທັນຫັນ.ນີ້ແມ່ນຂັ້ນຕອນຂອງການບໍລິໂພກຢ່າງວ່ອງໄວຂອງ monomer photosensitive, ແລະຂັ້ນຕອນນີ້ກວມເອົາສ່ວນໃຫຍ່ຂອງ exposure ໃນຂະບວນການ exposure ໄດ້.ຂະຫນາດເວລາແມ່ນນ້ອຍຫຼາຍ.ໃນເວລາທີ່ສ່ວນໃຫຍ່ຂອງ monomer photosensitive ຖືກບໍລິໂພກ, ມັນເຂົ້າໄປໃນເຂດ depletion monomer, ແລະປະຕິກິລິຍາ photopolymerization ໄດ້ສໍາເລັດໃນເວລານີ້.
ການຄວບຄຸມເວລາສໍາຜັດທີ່ຖືກຕ້ອງແມ່ນປັດໄຈທີ່ສໍາຄັນທີ່ສຸດໃນການໄດ້ຮັບຮູບເງົາແຫ້ງທີ່ດີຕ້ານການຮູບພາບ.ເມື່ອການສໍາຜັດບໍ່ພຽງພໍ, ເນື່ອງຈາກໂພລີເມີຊຽມບໍ່ຄົບຖ້ວນ, ໃນຂະບວນການພັດທະນາ, ແຜ່ນກາວຈະບວມແລະກາຍເປັນອ່ອນ, ສາຍບໍ່ຊັດເຈນ, ສີຈືດໆ, ແລະແມ້ແຕ່ degummed, ແລະຮູບເງົາ warps ໃນໄລຍະກ່ອນ. - ຂະບວນການ plating ຫຼື electroplating., seepage, ຫຼືແມ້ກະທັ້ງຫຼຸດລົງ.ເມື່ອການສໍາຜັດສູງເກີນໄປ, ມັນຈະເຮັດໃຫ້ເກີດບັນຫາເຊັ່ນ: ຄວາມຫຍຸ້ງຍາກໃນການພັດທະນາ, ຮູບເງົາ brittle, ແລະກາວທີ່ຕົກຄ້າງ.ສິ່ງທີ່ຮ້າຍແຮງກວ່ານັ້ນແມ່ນວ່າການເປີດເຜີຍທີ່ບໍ່ຖືກຕ້ອງຈະເຮັດໃຫ້ເກີດຄວາມບິດເບືອນຂອງຄວາມກວ້າງຂອງເສັ້ນຮູບພາບ.ການເປີດເຜີຍຫຼາຍເກີນໄປຈະເຮັດໃຫ້ເສັ້ນລວດຂອງແຜ່ນແພບາງໆແລະເຮັດໃຫ້ເສັ້ນພິມແລະ etching ຫນາ.ໃນທາງກົງກັນຂ້າມ, ການເປີດເຜີຍທີ່ບໍ່ພຽງພໍຈະເຮັດໃຫ້ສາຍຂອງແຜ່ນແພຮູບແບບກາຍເປັນບາງໆ.ຫຍາບເພື່ອເຮັດໃຫ້ເສັ້ນ etched ພິມບາງລົງ.