HDI kor və dövrə lövhələri vasitəsilə basdırılmış daha yüksək naqil sıxlığı və daha yaxşı elektrik performansı kimi xüsusiyyətlərinə görə bir çox sahədə geniş istifadə edilmişdir. Smartfonlar və planşetlər kimi istehlakçı elektronikasından tutmuş avtomobil elektronikası və rabitə baza stansiyaları kimi ciddi performans tələbləri olan sənaye avadanlıqlarına qədər, HDI kor və dövrə lövhələri vasitəsilə basdırılmışdır və onun performansına təsir edən mühüm amil kimi xəttin eni və sətir aralığının dəqiqliyi ciddi və ətraflı standartlara malikdir.
一、Sətrin eninin və sətir aralığının dəqiqliyinin əhəmiyyəti
Elektrik performansının təsiri: xəttin eni telin müqaviməti ilə birbaşa bağlıdır, daha geniş xətt eni müqaviməti daha kiçikdir, daha çox cərəyan keçirə bilər; Xətt məsafəsi xətlər arasında tutum və endüktansa təsir göstərir. Yüksək tezlikli dövrədə, xəttin eni və xətti məsafəsinin dəqiqliyi qeyri-kafi olarsa, tutumun və endüktansın dəyişməsi siqnalın ötürülməsi prosesində ləngimə və təhrifə səbəb olacaq ki, bu da siqnalın bütövlüyünə ciddi təsir göstərir. Məsələn, 5G kommunikasiya avadanlığının HDI kor dəlikli dövrə lövhəsində siqnal ötürmə sürəti son dərəcə yüksəkdir və kiçik xətt eni və xətt məsafəsindən yayınma siqnalın dəqiq ötürülməsini mümkünsüz edə bilər ki, bu da rabitə keyfiyyətinin azalması ilə nəticələnir.
Naqil sıxlığı və məkandan istifadə: HDI kor dəfn edilmiş dövrə lövhələrinin üstünlüklərindən biri yüksək sıxlıqlı naqillərdir. Yüksək dəqiqlikli xətt eni və xətt aralığı daha mürəkkəb dövrə funksiyalarına nail olmaq üçün məhdud məkanda daha çox xətt təşkil edə bilər. Nümunə olaraq smartfonun anakartını götürsək, çoxlu sayda çip, sensor və digər elektron komponentləri yerləşdirmək üçün çox kiçik bir sahədə böyük miqdarda naqillərin çəkilməsi lazımdır. Yalnız xəttin eninə və xətt məsafəsinin dəqiqliyinə ciddi nəzarət etməklə biz kiçik bir məkanda səmərəli naqillərə nail ola, ana platanın inteqrasiyasını yaxşılaşdıra və mobil telefonların getdikcə zənginləşən ehtiyaclarını ödəyə bilərik.
二、Xəttin eni və xətt məsafəsi dəqiqliyinin ümumi standart dəyəri
Sənayenin ümumi standartı: Ümumi HDI kor deşikli dövrə lövhəsi istehsalında ümumi minimum xətt eni 3-4mil (0.076-0.10mm) çata bilər və minimum xətt məsafəsi də təxminən 3-4mildir. Ümumi istehlakçı elektronikasında əsas olmayan idarəetmə lövhələri kimi bəzi daha az tələbkar tətbiq ssenariləri üçün xəttin eni və sətir aralığı 5-6mil (0,127-0,152 mm) qədər azaldıla bilər. Bununla belə, texnologiyanın davamlı inkişafı ilə yüksək səviyyəli HDI dövrə lövhələrinin xətti eni və xətt məsafəsi dəqiqliyi daha kiçik bir istiqamətdə inkişaf edir. Məsələn, bəzi qabaqcıl çip qablaşdırma substratları, onların xətt eni və xətt məsafəsi çip daxilində yüksək sürətli və yüksək sıxlıqlı siqnal ötürülməsi ehtiyaclarını ödəmək üçün 1-2mil (0,025-0,051 mm) çatmışdır.
Fərqli tətbiq sahələrində standart fərqlər: Avtomobil elektronikası sahəsində yüksək etibarlılıq tələbləri və mürəkkəb iş mühiti (yüksək temperatur, yüksək vibrasiya və s. kimi) səbəbindən HDI kor basdırılmış dövrə lövhələrinin xətt eni və xətt məsafəsi dəqiqliyi standartları daha sərtdir. Məsələn, avtomobil mühərrikinin idarəetmə blokunda (ECU) istifadə olunan dövrə lövhəsi, sərt mühitlərdə siqnal ötürülməsinin sabitliyini və etibarlılığını təmin etmək üçün xəttin eni və xətt məsafəsinin dəqiqliyi ümumiyyətlə 4-5mil səviyyəsində idarə olunur. Maqnit rezonans görüntüləmə (MRT) avadanlığında HDI dövrə lövhəsi kimi tibbi avadanlıq sahəsində, siqnalın dəqiq alınmasını və işlənməsini təmin etmək üçün xəttin eni və xətt məsafəsinin dəqiqliyi 2-3mil-ə çata bilər ki, bu da istehsal prosesinə son dərəcə yüksək tələblər qoyur.
三、Xəttin eninə və xətt məsafəsinin dəqiqliyinə təsir edən amillər
İstehsal prosesi: litoqrafiya prosesi xəttin genişliyini və xətt məsafəsinin dəqiqliyini təyin etmək üçün əsas əlaqədir. Litoqrafiya prosesində ekspozisiya maşınının dəqiqliyi, fotorezistin performansı və işlənmə və aşındırma prosesinin idarə edilməsi xəttin eninə və xəttin məsafəsinə təsir edəcəkdir. Ekspozisiya maşınının dəqiqliyi qeyri-kafi olarsa, ekspozisiya nümunəsi qərəzli ola bilər və aşındırmadan sonra xəttin eni və xətt məsafəsi dizayn dəyərindən kənara çıxacaq. Aşınma prosesində aşındırıcı mayenin konsentrasiyasına, temperaturuna və aşındırma müddətinə düzgün nəzarət edilməməsi də çox geniş və ya çox dar xətt eni və qeyri-bərabər xətt məsafəsi kimi problemlərə səbəb olacaqdır.
Material xüsusiyyətləri: Dövrə lövhəsinin substrat materialı və mis folqa materialının xüsusiyyətləri də xəttin eninə və xətt məsafəsinin dəqiqliyinə təsir göstərir. Müxtəlif substrat materiallarının istilik genişlənmə əmsalı fərqlidir. İstehsal prosesində, çoxsaylı isitmə və soyutma proseslərinə görə, substrat materialının istilik genişlənmə əmsalı qeyri-sabitdirsə, bu, xəttin eninə və xətt məsafəsinin dəqiqliyinə təsir edən dövrə lövhəsinin deformasiyasına səbəb ola bilər. Mis folqa qalınlığının vahidliyi də vacibdir və qeyri-bərabər qalınlığa malik mis folqanın aşındırma sürəti aşındırma prosesində uyğunsuz olacaq və nəticədə xəttin eninin sapmasına səbəb olacaqdır.
四、Dəqiqliyi aşkar etmək və nəzarət etmək üsulları
Aşkarlama vasitələri: HDI kor basdırılmış deşik dövrə lövhəsinin istehsal prosesində xəttin eni və xətt məsafəsinin dəqiqliyinə nəzarət etmək üçün müxtəlif aşkarlama vasitələrindən istifadə ediləcək. Optik mikroskop tez-tez istifadə olunan yoxlama vasitələrindən biridir. Elektron lövhənin səth şəklini böyütməklə, standarta uyğun olub-olmadığını müəyyən etmək üçün xəttin eni və xəttin məsafəsi əl ilə və ya təsvirin təhlili proqram təminatının köməyi ilə ölçülür. elektron