ຕາບອດ HDI ແລະຝັງຜ່ານກະດານວົງຈອນໄດ້ຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນຫຼາຍໆດ້ານເນື່ອງຈາກຄຸນລັກສະນະຂອງມັນ, ເຊັ່ນຄວາມຫນາແຫນ້ນຂອງສາຍໄຟທີ່ສູງຂຶ້ນແລະປະສິດທິພາບໄຟຟ້າທີ່ດີກວ່າ. ຈາກອຸປະກອນເອເລັກໂຕຣນິກຜູ້ບໍລິໂພກເຊັ່ນ: ໂທລະສັບສະຫຼາດແລະແທັບເລັດໄປສູ່ອຸປະກອນອຸດສາຫະກໍາທີ່ມີຄວາມຕ້ອງການການປະຕິບັດຢ່າງເຂັ້ມງວດເຊັ່ນ: ສະຖານີເອເລັກໂຕຣນິກລົດຍົນແລະການສື່ສານ, ຕາບອດ HDI ແລະຝັງຜ່ານກະດານວົງຈອນແມ່ນສໍາຄັນ, ແລະຄວາມກວ້າງຂອງເສັ້ນແລະຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງໄລຍະຫ່າງຂອງເສັ້ນ, ເປັນປັດໃຈສໍາຄັນທີ່ມີຜົນກະທົບຕໍ່ການປະຕິບັດ, ມີມາດຕະຖານທີ່ເຄັ່ງຄັດແລະລາຍລະອຽດ.

一、ຄວາມສໍາຄັນຂອງຄວາມກວ້າງຂອງເສັ້ນ ແລະຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງໄລຍະຫ່າງເສັ້ນ
ຜົນກະທົບດ້ານການປະຕິບັດໄຟຟ້າ: ຄວາມກວ້າງຂອງສາຍແມ່ນກ່ຽວຂ້ອງໂດຍກົງກັບຄວາມຕ້ານທານຂອງສາຍ, ຄວາມຕ້ານທານຄວາມກວ້າງຂອງສາຍແມ່ນນ້ອຍກວ່າ, ສາມາດປະຕິບັດກະແສໄຟຟ້າໄດ້ຫຼາຍ; ໄລຍະຫ່າງຂອງສາຍສົ່ງຜົນກະທົບຕໍ່ຄວາມຈຸ ແລະ inductance ລະຫວ່າງສາຍ. ໃນວົງຈອນຄວາມຖີ່ສູງ, ຖ້າຄວາມກວ້າງຂອງເສັ້ນແລະຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງໄລຍະຫ່າງຂອງສາຍບໍ່ພຽງພໍ, ການປ່ຽນແປງຂອງ capacitance ແລະ inductance ຈະເຮັດໃຫ້ການຊັກຊ້າແລະການບິດເບືອນໃນຂະບວນການສົ່ງສັນຍານ, ເຊິ່ງມີຜົນກະທົບຢ່າງຫນັກແຫນ້ນຕໍ່ຄວາມສົມບູນຂອງສັນຍານ. ສໍາລັບຕົວຢ່າງ, ໃນກະດານວົງຈອນ HDI ຕາບອດຝັງຂອງອຸປະກອນການສື່ສານ 5G, ອັດຕາການສົ່ງສັນຍານແມ່ນສູງທີ່ສຸດ, ແລະຄວາມກວ້າງຂອງເສັ້ນຂະຫນາດນ້ອຍແລະໄລຍະຫ່າງ deviation ຂອງສາຍອາດຈະເຮັດໃຫ້ສັນຍານບໍ່ສາມາດສົ່ງໄດ້ຢ່າງຖືກຕ້ອງ, ສົ່ງຜົນໃຫ້ຄຸນນະພາບການສື່ສານຫຼຸດລົງ.
ຄວາມຫນາແຫນ້ນຂອງສາຍໄຟແລະການນໍາໃຊ້ພື້ນທີ່: ຫນຶ່ງໃນຂໍ້ໄດ້ປຽບຂອງແຜ່ນວົງຈອນຂຸມ HDI ຕາບອດຝັງແມ່ນສາຍໄຟທີ່ມີຄວາມຫນາແຫນ້ນສູງ. ຄວາມກວ້າງຂອງເສັ້ນທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງແລະໄລຍະຫ່າງຂອງເສັ້ນສາມາດຈັດວາງສາຍຫຼາຍຂື້ນໃນພື້ນທີ່ຈໍາກັດເພື່ອບັນລຸຫນ້າທີ່ວົງຈອນທີ່ສັບສົນຫຼາຍ. ການເອົາເມນບອດຂອງໂທລະສັບສະຫຼາດເປັນຕົວຢ່າງ, ເພື່ອຮອງຮັບຊິບ, ເຊັນເຊີແລະອົງປະກອບເອເລັກໂຕຣນິກຈໍານວນຫລາຍ, ສາຍໄຟຈໍານວນຫຼວງຫຼາຍຕ້ອງໄດ້ຮັບການສໍາເລັດໃນພື້ນທີ່ຂະຫນາດນ້ອຍຫຼາຍ. ພຽງແຕ່ໂດຍການຄວບຄຸມຢ່າງເຂັ້ມງວດຄວາມກວ້າງຂອງເສັ້ນແລະຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງໄລຍະຫ່າງຂອງເສັ້ນພວກເຮົາສາມາດບັນລຸສາຍໄຟທີ່ມີປະສິດທິພາບໃນພື້ນທີ່ຂະຫນາດນ້ອຍ, ປັບປຸງການເຊື່ອມໂຍງຂອງເມນບອດ, ແລະຕອບສະຫນອງຄວາມຕ້ອງການທີ່ອຸດົມສົມບູນຂອງໂທລະສັບມືຖື.

二、ຄ່າມາດຕະຖານທົ່ວໄປຂອງຄວາມກວ້າງຂອງເສັ້ນ ແລະຄວາມຖືກຕ້ອງໄລຍະຫ່າງຂອງເສັ້ນ
ມາດຕະຖານອຸດສາຫະກໍາທົ່ວໄປ: ໃນການຜະລິດກະດານວົງຈອນຮູຕາບອດ HDI ທົ່ວໄປ, ຄວາມກວ້າງຂອງເສັ້ນຕໍາ່ສຸດທີ່ທົ່ວໄປສາມາດບັນລຸ 3-4mil (0.076-0.10mm), ແລະໄລຍະຫ່າງຂອງເສັ້ນຕໍາ່ສຸດທີ່ຍັງປະມານ 3-4mil. ສໍາລັບບາງສະຖານະການຄໍາຮ້ອງສະຫມັກທີ່ມີຄວາມຕ້ອງການຫນ້ອຍ, ເຊັ່ນ: ກະດານຄວບຄຸມທີ່ບໍ່ແມ່ນຫຼັກໃນເຄື່ອງໃຊ້ໄຟຟ້າທົ່ວໄປ, ຄວາມກວ້າງຂອງເສັ້ນແລະໄລຍະຫ່າງຂອງເສັ້ນອາດຈະຜ່ອນຄາຍລົງເປັນ 5-6mil (0.127-0.152mm). ຢ່າງໃດກໍຕາມ, ດ້ວຍຄວາມກ້າວຫນ້າຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງຂອງເຕັກໂນໂລຢີ, ຄວາມກວ້າງຂອງເສັ້ນແລະຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງໄລຍະຫ່າງຂອງແຜງວົງຈອນ HDI ລະດັບສູງກໍາລັງພັດທະນາໃນທິດທາງຂະຫນາດນ້ອຍກວ່າ. ສໍາລັບການຍົກຕົວຢ່າງ, ບາງຊັ້ນຍ່ອຍການຫຸ້ມຫໍ່ chip ກ້າວຫນ້າ, ຄວາມກວ້າງຂອງເສັ້ນແລະໄລຍະຫ່າງຂອງສາຍໄດ້ບັນລຸ 1-2mil (0.025-0.051mm) ເພື່ອຕອບສະຫນອງຄວາມຕ້ອງການສົ່ງສັນຍານຄວາມໄວສູງແລະຄວາມຫນາແຫນ້ນສູງພາຍໃນຊິບ.
ຄວາມແຕກຕ່າງມາດຕະຖານໃນດ້ານການນໍາໃຊ້ທີ່ແຕກຕ່າງກັນ: ໃນຂະແຫນງການເອເລັກໂຕຣນິກລົດຍົນ, ເນື່ອງຈາກຄວາມຕ້ອງການຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖືສູງແລະສະພາບແວດລ້ອມການເຮັດວຽກທີ່ສັບສົນ (ເຊັ່ນ: ອຸນຫະພູມສູງ, ການສັ່ນສະເທືອນສູງ, ແລະອື່ນໆ), ຄວາມກວ້າງຂອງເສັ້ນແລະໄລຍະຫ່າງຂອງສາຍມາດຕະຖານຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງແຜ່ນວົງຈອນຝັງຕາບອດ HDI ແມ່ນເຄັ່ງຄັດກວ່າ. ຕົວຢ່າງ, ແຜງວົງຈອນທີ່ໃຊ້ໃນຫນ່ວຍຄວບຄຸມເຄື່ອງຈັກໃນລົດໃຫຍ່ (ECU), ຄວາມກວ້າງຂອງເສັ້ນແລະຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງໄລຍະຫ່າງຂອງສາຍແມ່ນໂດຍທົ່ວໄປແມ່ນຄວບຄຸມຢູ່ທີ່ 4-5mil ເພື່ອຮັບປະກັນຄວາມຫມັ້ນຄົງແລະຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖືຂອງການສົ່ງສັນຍານໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ຮຸນແຮງ. ໃນຂົງເຂດອຸປະກອນການແພດ, ເຊັ່ນ: ແຜ່ນວົງຈອນ HDI ໃນອຸປະກອນການສະທ້ອນແສງສະນະແມ່ເຫຼັກ (MRI), ເພື່ອຮັບປະກັນການໄດ້ຮັບສັນຍານແລະການປຸງແຕ່ງທີ່ຖືກຕ້ອງ, ຄວາມກວ້າງຂອງເສັ້ນແລະຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງໄລຍະຫ່າງຂອງສາຍອາດຈະບັນລຸ 2-3mil, ເຊິ່ງເຮັດໃຫ້ຄວາມຕ້ອງການສູງທີ່ສຸດໃນຂະບວນການຜະລິດ.

三​, ປັດ​ໄຈ​ຜົນ​ກະ​ທົບ​ຄວາມ​ກວ້າງ​ຂອງ​ເສັ້ນ​ແລະ​ຄວາມ​ຖືກ​ຕ້ອງ​ໄລ​ຍະ​ເສັ້ນ​
ຂະບວນການຜະລິດ: ຂະບວນການ lithography ແມ່ນການເຊື່ອມໂຍງທີ່ສໍາຄັນເພື່ອກໍານົດຄວາມກວ້າງຂອງເສັ້ນແລະຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງໄລຍະຫ່າງຂອງເສັ້ນ. ໃນຂະບວນການຂອງ lithography, ຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງເຄື່ອງ exposure, ການປະຕິບັດຂອງ photoresist ແລະການຄວບຄຸມຂອງຂະບວນການພັດທະນາແລະ etching ຈະສົ່ງຜົນກະທົບຕໍ່ຄວາມກວ້າງຂອງເສັ້ນແລະໄລຍະຫ່າງຂອງເສັ້ນ. ຖ້າຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງເຄື່ອງ exposure ແມ່ນບໍ່ພຽງພໍ, ຮູບແບບ exposure ອາດຈະມີຄວາມລໍາອຽງ, ແລະຄວາມກວ້າງຂອງເສັ້ນແລະໄລຍະຫ່າງຂອງເສັ້ນຫຼັງຈາກ etching ຈະ deviate ຈາກມູນຄ່າການອອກແບບ. ໃນຂະບວນການ etching, ການຄວບຄຸມທີ່ບໍ່ເຫມາະສົມຂອງຄວາມເຂັ້ມຂົ້ນ, ອຸນຫະພູມແລະເວລາ etching ຂອງແຫຼວ etching ຍັງຈະເຮັດໃຫ້ເກີດບັນຫາເຊັ່ນ: ຄວາມກວ້າງຂອງເສັ້ນກວ້າງເກີນໄປຫຼືແຄບເກີນໄປແລະໄລຍະຫ່າງຂອງເສັ້ນບໍ່ສະເຫມີກັນ.
ຄຸນລັກສະນະຂອງວັດສະດຸ: ວັດສະດຸຍ່ອຍສະຫຼາຍ ແລະ ແຜ່ນທອງແດງ ລັກສະນະວັດສະດຸຂອງແຜງວົງຈອນຍັງມີຜົນກະທົບຕໍ່ຄວາມກວ້າງຂອງເສັ້ນ ແລະ ຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງໄລຍະຫ່າງຂອງສາຍ. ຄ່າສໍາປະສິດການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນຂອງວັດສະດຸ substrate ທີ່ແຕກຕ່າງກັນແມ່ນແຕກຕ່າງກັນ. ໃນຂະບວນການຜະລິດ, ເນື່ອງຈາກຂະບວນການເຮັດຄວາມຮ້ອນແລະຄວາມເຢັນຫຼາຍ, ຖ້າຕົວຄູນການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນຂອງວັດສະດຸຍ່ອຍບໍ່ຫມັ້ນຄົງ, ມັນອາດຈະນໍາໄປສູ່ການຜິດປົກກະຕິຂອງກະດານວົງຈອນ, ເຊິ່ງຜົນກະທົບຕໍ່ຄວາມກວ້າງຂອງເສັ້ນແລະຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງໄລຍະຫ່າງຂອງເສັ້ນ. ຄວາມສອດຄ່ອງຄວາມຫນາຂອງແຜ່ນທອງແດງແມ່ນມີຄວາມສໍາຄັນ, ແລະອັດຕາການ etching ຂອງ foil ທອງແດງທີ່ມີຄວາມຫນາບໍ່ສະຫມໍ່າສະເຫມີຈະບໍ່ສອດຄ່ອງໃນລະຫວ່າງການຂະບວນການ etching, ສົ່ງຜົນໃຫ້ deviation width ເສັ້ນ.

ວິ​ທີ​ການ​ກວດ​ສອບ​ແລະ​ການ​ຄວບ​ຄຸມ​ຄວາມ​ຖືກ​ຕ້ອງ​
ການກວດຫາຫມາຍຄວາມວ່າ: ໃນຂະບວນການຜະລິດແຜ່ນວົງຈອນປິດຂຸມ HDI ຕາບອດ, ວິທີການກວດຈັບຫຼາຍຊະນິດຈະຖືກນໍາໃຊ້ເພື່ອຕິດຕາມຄວາມກວ້າງຂອງເສັ້ນແລະຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງໄລຍະຫ່າງຂອງເສັ້ນ. ກ້ອງຈຸລະທັດທາງແສງແມ່ນໜຶ່ງໃນເຄື່ອງມືກວດກາທີ່ໃຊ້ທົ່ວໄປ. ໂດຍການຂະຫຍາຍພາບພື້ນຜິວຂອງກະດານວົງຈອນ, ຄວາມກວ້າງຂອງເສັ້ນແລະໄລຍະຫ່າງຂອງເສັ້ນໄດ້ຖືກວັດແທກດ້ວຍຕົນເອງຫຼືດ້ວຍການຊ່ວຍເຫຼືອຂອງຊອບແວການວິເຄາະຮູບພາບເພື່ອກໍານົດວ່າມາດຕະຖານແມ່ນບັນລຸໄດ້. ເອເລັກໂຕຣນິກ