ขนาดของผลิตภัณฑ์อิเล็กทรอนิกส์กำลังบางลงและเล็กลง การวาง vias ซ้อนกันโดยตรงบน vias แบบซ่อนเป็นวิธีการออกแบบสำหรับการเชื่อมต่อที่มีความหนาแน่นสูง เพื่อให้ได้รูซ้อนที่ดี ก่อนอื่นควรปรับความเรียบของก้นรูให้ดี มีวิธีการผลิตหลายวิธี และหนึ่งในนั้นคือกระบวนการเติมรูด้วยการชุบไฟฟ้า
1. ข้อดีของการชุบด้วยไฟฟ้าและการอุดรู:
(1) เอื้อต่อการออกแบบรูซ้อนและรูบนแผ่น
(2) ปรับปรุงประสิทธิภาพไฟฟ้าและช่วยออกแบบความถี่สูง
(3) ช่วยระบายความร้อน;
(4) การเสียบปลั๊กและการเชื่อมต่อไฟฟ้าเสร็จสมบูรณ์ในขั้นตอนเดียว
(5) รูตันถูกเติมด้วยทองแดงชุบไฟฟ้าซึ่งมีความน่าเชื่อถือสูงกว่าและมีการนำไฟฟ้าดีกว่ากาวนำไฟฟ้า
2. พารามิเตอร์อิทธิพลทางกายภาพ
พารามิเตอร์ทางกายภาพที่จำเป็นต้องศึกษา ได้แก่ ประเภทของขั้วบวก ระยะห่างระหว่างขั้วลบและขั้วบวก ความหนาแน่นของกระแส การกวน อุณหภูมิ เครื่องแปลงกระแสไฟฟ้าและรูปคลื่น เป็นต้น
(1) ประเภทของแอโนด เมื่อพูดถึงประเภทของแอโนดแล้ว แอโนดจะประกอบด้วยแอโนดที่ละลายน้ำได้และแอโนดที่ไม่ละลายน้ำ แอโนดที่ละลายน้ำได้มักเป็นลูกบอลทองแดงที่มีฟอสฟอรัส ซึ่งมีแนวโน้มที่จะเกิดโคลนแอโนด ปนเปื้อนสารละลายที่ชุบ และส่งผลต่อประสิทธิภาพของสารละลายที่ชุบ แอโนดที่ไม่ละลายน้ำมีเสถียรภาพที่ดี ไม่จำเป็นต้องบำรุงรักษาแอโนด ไม่มีการสร้างโคลนแอโนด เหมาะสำหรับการชุบด้วยไฟฟ้าแบบพัลส์หรือแบบ DC แต่ปริมาณการใช้สารเติมแต่งค่อนข้างสูง
(2) ระยะห่างระหว่างแคโทดและแอโนด การออกแบบระยะห่างระหว่างแคโทดและแอโนดในกระบวนการเติมรูชุบด้วยไฟฟ้ามีความสำคัญอย่างยิ่ง และการออกแบบอุปกรณ์แต่ละประเภทก็แตกต่างกันออกไป ไม่ว่าจะออกแบบอย่างไรก็ไม่ควรละเมิดกฎข้อแรกของฟาราห์
(3) การกวน มีวิธีกวนอยู่หลายประเภท เช่น การแกว่งเชิงกล การสั่นด้วยไฟฟ้า การสั่นด้วยลม การกวนด้วยลม การไหลของอากาศ เป็นต้น
สำหรับการอุดรูด้วยไฟฟ้า โดยทั่วไปแล้ว นิยมใช้การออกแบบหัวฉีดแบบเจ็ทตามรูปทรงของกระบอกสูบทองแดงแบบดั้งเดิม จำนวน ระยะห่าง และมุมของหัวฉีดบนท่อเจ็ท ล้วนเป็นปัจจัยที่ต้องพิจารณาในการออกแบบกระบอกสูบทองแดง และต้องมีการทดสอบจำนวนมาก
(4) ความหนาแน่นกระแสและอุณหภูมิ ความหนาแน่นกระแสต่ำและอุณหภูมิต่ำสามารถลดอัตราการสะสมของทองแดงบนพื้นผิวได้ ขณะเดียวกันก็ทำให้มี Cu2 และสารเพิ่มความขาวในรูพรุนเพียงพอ ภายใต้สภาวะนี้ ความสามารถในการเติมรูพรุนจะเพิ่มขึ้น แต่ประสิทธิภาพในการชุบก็ลดลงเช่นกัน
(5) วงจรเรียงกระแส วงจรเรียงกระแสเป็นส่วนสำคัญในกระบวนการชุบด้วยไฟฟ้า ปัจจุบันงานวิจัยเกี่ยวกับการเติมรูโดยการชุบด้วยไฟฟ้าส่วนใหญ่จำกัดอยู่เพียงการชุบด้วยไฟฟ้าแบบเต็มแผ่น หากพิจารณาการเติมรูโดยการชุบแบบแพทเทิร์น พื้นที่แคโทดจะเล็กมาก ในขณะนี้ ความแม่นยำของเอาต์พุตของวงจรเรียงกระแสถูกกำหนดให้สูงมาก ควรเลือกความแม่นยำของเอาต์พุตของวงจรเรียงกระแสตามเส้นผลิตภัณฑ์และขนาดของรูผ่าน ยิ่งเส้นบางและรูมีขนาดเล็กเท่าใด ความแม่นยำของวงจรเรียงกระแสก็ยิ่งสูงขึ้นเท่านั้น โดยทั่วไป แนะนำให้เลือกวงจรเรียงกระแสที่มีความแม่นยำเอาต์พุตภายใน 5%
(6) รูปคลื่น ปัจจุบัน จากมุมมองของรูปคลื่น การชุบด้วยไฟฟ้าและการอุดรูมีสองประเภท ได้แก่ การชุบด้วยไฟฟ้าแบบพัลส์และการชุบด้วยไฟฟ้ากระแสตรง เครื่องแปลงกระแสไฟฟ้าแบบดั้งเดิมใช้สำหรับการชุบด้วยไฟฟ้ากระแสตรงและการอุดรู ซึ่งใช้งานง่าย แต่หากแผ่นหนาขึ้นจะไม่สามารถทำอะไรได้ เครื่องแปลงกระแสไฟฟ้า PPR ใช้สำหรับการชุบด้วยไฟฟ้าแบบพัลส์และการอุดรู ซึ่งมีขั้นตอนการทำงานมากมาย แต่มีประสิทธิภาพในการประมวลผลสูงสำหรับแผ่นหนา
